电子级过氧化氢的质量标准、市场和生产技术
作者/来源：张尊英1.2(1.湖南大学化学化工学院，湖南 长沙 410082；2.湘南学院，湖南 郴洲 423000) 日期： 2007-04-03 点击率：1650
电子级过氧化氢是一种高纯度的过氧化氢水溶液，是电子工业中一种十分重要的工艺化学品。自从1965年RCA(美国无线电公司)研发了用于硅晶圆清洗的RCA清洗法以来，随着电子工业的高速发展，电子级过氧化氢也得到高速发展，同时随着集成电路的尺寸微小化和处理向高速度方向发展，也刘其质量提出了苛刻的要求。
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